在半導體制造、精細化工和材料科研的前沿領域,哪怕是晶圓或基材表面一絲一毫的微量金屬污染,都可能成為產(chǎn)品良率的 “隱形殺手"。人工采樣易帶入二次污染,傳統(tǒng)設備又難以適配親水面、粗糙表面等復雜工況 —— 而日本 NAS 技研推出的 SC 系列微量金屬污染物采樣設備,正是為破解這些痛點而生的專業(yè)解決方案。
作為有限會社 NAS 技研深耕行業(yè)多年的經(jīng)典機型,SC 系列(涵蓋 SC-3100/8150/9100/9200)從設計之初就錨定 “精準、低污染、高適配" 三大核心目標。設備全程由電腦控制,可靈活切換圓環(huán)形、扇形、端面、弧形等 7 種采樣模式,無論是晶圓正面的均勻區(qū)域,還是邊緣、端面的特殊位置,都能實現(xiàn)精準覆蓋,不漏過任何一處潛在污染。
針對不同場景的需求,SC 系列提供了自動與手動兩種操作邏輯:SC-3100、SC-9100、SC-9200 主打全自動流程,從支架具裝卸到采樣液的供給與回收,全環(huán)節(jié)無需人工干預,減少人為操作帶來的污染,特別適合工業(yè)化批量采樣;SC-8150 則以手動操作為特色,結(jié)構(gòu)更精簡,適合實驗室小批量、個性化的采樣實驗,讓研發(fā)人員能靈活調(diào)整參數(shù),適配新材料的探索性測試。
在易用性與穩(wěn)定性上,這款設備同樣表現(xiàn)亮眼:它無需復雜的真空系統(tǒng),僅需放置在無塵通風柜內(nèi),搭配 100~240VAC 寬電壓供電,就能快速投入使用;電腦端可實時記錄、存儲采樣數(shù)據(jù),為后續(xù)的污染物分析、品質(zhì)追溯提供完整依據(jù);不同型號的機身尺寸緊湊,重量控制在 35-55kg 之間,無論是實驗室桌面還是潔凈車間,都能靈活部署,不會占用過多空間。
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